– عدد الواح الويفر المغطاة بالكريم والتي يمكن اصطحابها إلى النفق هي 90 قطعة.
– الحد الأقصى والحد الأدنى من قياسات الواح الويفر التي يمكن أخذها في النفق 290 × 470 – 350 × 470 – 350 ×500 ملم.
– هو نظام نفق من نوع المصعد يعمل عن طريق الصعود والهبوط من الجانب الآخر من خلال سلسلة ¾ مزدوجة في النفق.
– سعة تبريد الأنفاق 18.000 كيلو كالوري / ساعة.
– أربعة مراوح ، بـ 3 المكثفات والمبخر 1
– مبخر هواء نوع واحد 70 متر مربع.
– مكثف هواء من النوع 1 بمقاس 100 متر مربع.
1 ضاغط PCS–
غاز التبريد. A404–
– ﯾﺑﻟﻎ ﺳﻣك اﻟﺟﺳم واﻷﻏطﯾﺔ 3 ﺳم ، وﺳﯾﺗم ﺗﻐطﯾﺔ اﻟﺟزء اﻟداﺧﻟﻲ بمادة اﻟﺑوﻟﻲ إﯾﺛﯾﻟﯾن.
سيتم استخدام أشرطة الحلقة. – في مدخل النفق والخروج منه
– يتم التحكم في الجهاز عن طريق لوحة التحكم.
– في التشغيل العادي ، يصل كل منتج إلى المصعد خطوة واحدة بمساعدة المستشعرات.
– في نهاية الإنتاج ، يتم نقل الماكينة إلى موقع التفريغ.
– يوجد نظام تصحيح المنتج عند مدخل النفق.